中微半导体设备(上海)股份有限公司2023年年度报告

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称“中微公司”，证券代码“688012”）是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。

企业信息 中微半导体设备（上海）有限公司于2004年5月31日在浦东新区市场监管局登记成立。法定代表人尹志尧（GERALD ZHEYAO YIN），公司经营范围包括研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备等。 中微半导体设备（上海）有限公司 公司简介 中微半导体设

2022 年年度报告 1 / 244 2022 年年度报告 2 / 244 公司代码：688012 公司简称：中微公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2022 年年度报告 2022 年年度报告 3 / 244 2022 年年度报告 4 / 244 2022 年年度报告 5 / 244 2022

2021 年年度报告 1 / 227 公司代码：688012 公司简称：中微公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2021 年年度报告 2021 年年度报告 2 / 227 中微公司董事长尹志尧致辞 尊敬的各位股东、伙伴们、朋友们， 大家好！我谨代表中微公司董事会、公司管理层和全体 员工，向各位

2020 年年度报告 1 / 193 公司代码：688012 公司简称：中微公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年年度报告 2020 年年度报告 2 / 193 重要提示 一、 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实、准确、完整， 不存在虚假记载、误导性

2019 年年度报告 1 / 192 公司代码：688012 公司简称：中微公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2019 年年度报告 2019 年年度报告 2 / 192 中微公司董事长致辞 各位投资者，朋友们，很高兴和大家分享中微公司 2019 年的发展情况。2019 年 7 月 22 日，

2023 年第三季度报告 1 / 14 证券代码：688012 证券简称：中微公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2023 年第三季度报告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或 者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： 公

2023 年第一季度报告 1 / 13 证券代码：688012 证券简称：中微公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2023 年第一季度报告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示 公司

2019 年半年度报告 1 / 140 公司代码：688012 公司简称：中微公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2019 年半年度报告 2019 年半年度报告 2 / 140 重要提示 一、 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实、准确、完 整，不存在虚假记载

2023 年半年度报告 1 / 173 2023 年半年度报告 2 / 173 公司代码：688012 公司简称：中微公司 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2023 年半年度报告 2023 年半年度报告 3 / 173 2023 年半年度报告 4 / 173 2023 年半年度报告 5 / 17